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用途：高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。
高純氧氣廠家 東莞氧氣特種氣體廠家
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高純氧氣廠家 東莞氧氣特種氣體廠家
產(chǎn)品屬性
詳細(xì)信息 性質(zhì)：純度≥99.995％。塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，雜質(zhì)含量N2≤10
cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。無色無臭無味氣體。氧不可燃，但助燃。相對(duì)密度ds(21.1℃，空氣=1)1.105。氣體密度1.326kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度1141kg/m3(-
182.96℃)。 沸點(diǎn)-
182.96℃。熔點(diǎn)-218.78℃。大部分商品氧都是由空氣分離制造的。即將空氣液化后經(jīng)精餾提純。也可采用低溫全精餾法。少量氧采用電解氧為原料，經(jīng)催化脫氫可制取純度為99.99％以上的高純氧。其他純化方法有變壓吸附法和膜分離法。
用途：高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。
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