1、液氧→液氧貯槽→液氧泵→汽化器→充氣排→氧氣氣瓶。
這種生產(chǎn)氧氣的工藝流程適用于小型或個體氧氣生產(chǎn)單位，少，見效快，但需要有長期穩(wěn)定的原料供應(yīng)，所以生產(chǎn)上會受原料供應(yīng)的影響。
2、低溫法空氣分離設(shè)備→液氧→液氧泵→汽化器→充氣排→氧氣氣瓶。
氧氣的這種工藝流程常見于已有的大型空分設(shè)備運行廠家進行副產(chǎn)品開發(fā)，只要增加液體泵及充氣排和氧氣氣瓶，再申請生產(chǎn)許可證即可正式投入生產(chǎn)，少，見效快。
3、低溫制氧機→高壓常溫氣態(tài)氧→充氣排→氧氣氣瓶。
這類工藝流程是氧氣生產(chǎn)專用的空分流程，它比較適用于專業(yè)氧氣生產(chǎn)的新企業(yè)，一次性較大，建設(shè)期稍長，但流程、設(shè)備一次到位，不需外購生產(chǎn)原料，生產(chǎn)不受外界環(huán)境影響。
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